结晶设备、结晶方法及制造有机发光显示装置的方法

摘要

本发明提供一种结晶设备、结晶方法及制造有机发光显示装置的方法。所述结晶设备使用连续横向固化(SLS)并使形成在基板上的非晶硅层结晶，所述结晶设备包括激光产生装置、第一光学系统、第二光学系统以及路径切换构件。所述激光产生装置被配置为发射激光束。所述第一光学系统被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上。所述第二光学系统与所述第一光学系统平行，并且被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上。所述路径切换构件被配置为切换从所述激光产生装置发射的激光束的路径并将所述激光束交替分配到所述第一光学系统和所述第二光学系统。

主权项

一种结晶设备，所述结晶设备使用连续横向固化并使形成在基板上的非晶硅层结晶，所述结晶设备包括：被配置为发射激光束的激光产生装置；被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上的第一光学系统；与所述第一光学系统平行的第二光学系统，所述第二光学系统被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上；以及被配置为切换从所述激光产生装置发射的激光束的路径并将所述激光束交替分配到所述第一光学系统和所述第二光学系统的路径切换构件。