一种多晶硅铸锭炉底部冷却装置和使用该冷却装置的多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉底部冷却装置和使用该装置的多晶硅铸锭炉。所述多晶硅铸锭炉底部冷却装置，包括换热装置，该换热装置由顶盖和底板构成，所述顶盖和底板之间为换热腔。导热媒介能均匀出入该换热腔，使晶体下方散热均匀，从而使晶体生长速率和方向一致，提高晶体的质量。

主权项

一种多晶硅铸锭炉底部的冷却装置，包括换热装置和冷却导热媒介供给装置，其特征在于：所述换热装置由顶盖(1)和底板(2)构成，所述顶盖(1)和底板(2)之间限定一换热腔，所述底板上设有多个导热媒介进孔和导热媒介出孔供导热媒介进出该换热腔。