| 发明名称 | 烘烤设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型的烘烤设备包括一端开口的腔体、设置在所述腔体的开口端上的盖体，以及设置在所述腔体外的流量调节装置，所述盖体上设有至少一个排气口，所述流量调节装置与所述排气口连接。本实用新型的烘烤设备的排气口的排气量根据工艺进程实时调节，以提高烘烤设备的生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN202331010U | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201120465116.4 | 申请日期 | 2011.11.21 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 胡华勇 |
| 分类号 | G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种烘烤设备，包括一端开口的腔体和设置在所述腔体的开口端上的盖体，所述盖体上设有至少一个排气口，其特征在于，所述烘烤设备还包括设置在所述腔体外的流量调节装置，所述流量调节装置与所述排气口连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||