空间移相菲索球面干涉仪

摘要

一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的第二分束器的反射光方向设有第一图像传感器，以方便待测球面的调节，所述的计算机便于图像数据处理，本实用新型在可以实现对球面被测元件的面形测量。该空间移相菲索球面干涉仪可以获得具有一定移相量的多幅移相干涉图像。该空间移相菲索球面干涉仪采用圆偏振参考光和测量光，减小准直透镜和标准镜的残余双折射的影响。移相光路中不再使用四分之一波片，提高面形的测量精度。

主权项

一种空间移相菲索球面干涉仪，包括准直光源(1)、圆起偏器(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、第一分束器(5)、第一准直透镜(6)、第一图像传感器(9)、第二准直透镜(10)、达曼光栅(11)、检偏器阵列(12)、第二图像传感器(13)和计算机(14)，其特征是在所述的第一准直透镜(6)和待测球面(15)之间设有双折射薄膜型球面标准镜(7)，其位置关系是：沿所述的准直光源(1)发出的光束前进方向，依次是所述的圆起偏器(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、第一分束器(5)、第一准直透镜(6)、双折射薄膜型球面标准镜(7)而达到所述的待测球面(15)上，经该待测球面(15)反射后在所述的第一分束器(5)的反射光路上，依次是第二分束器(8)、第二准直透镜(10)、达曼光栅(11)、检偏器阵列(12)、第二图像传感器(11)和计算机(14)，在所述的第二分束器(8)的反射光方向设有第一图像传感器(9)，所述的光阑(4)位于所述的聚焦透镜(3)的后焦点和所述的第一准直透镜(6)的前焦点，待测球面(15)位于所述的准直光束经过所述的双折射薄膜型球面标准镜(7)的出射方向上。