发明名称 CRITICAL DIMENSION CONTROL DURING TEMPLATE FORMATION
摘要
申请公布号 EP2250020(A4) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 EP20090716103 申请日期 2009.02.26
申请人 MOLECULAR IMPRINTS, INC. 发明人 BROOKS, CYNTHIA, B.;LABRAKE, DWAYNE, L.;KHUSNATDINOV, NIYAZ;MILLER, MICHAEL, N.;SREENIVASAN, SIDLGATA, V.;LENTZ, DAVID, JAMES;XU, FRANK, Y.
分类号 G03F7/00;B41F33/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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