发明名称
摘要
申请公布号 JP4971541(B2) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 JP20000567891 申请日期 1999.08.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/26;H01L21/677;C23C16/46;C23C16/54;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/265 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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