旋转阴极机构

摘要

一种旋转阴极机构，它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。本发明为一种新型机构，通过在溅射过程中旋转靶材，使得靶材在整区域的消耗能够均匀的进行刻蚀，将靶材一次利用率提高到≥80%以上；同时可以有效减少打弧和靶面掉渣，工艺稳定性好。

主权项

一种旋转阴极机构，其特征是它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。