| 发明名称 | 用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，包括直角弯管和转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，另一端与所述光谱仪的检测窗密封连接，所述45度反射镜设置于所述直角弯管内的转弯处。本实用新型还公开了一种反应装置，包括反应腔室和光谱仪，所述反应腔室和所述光谱仪之间设置有如上所述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构。本实用新型可以防止反应腔室内的反应气体大量接触光谱仪的检测窗，同时可以避免反应腔室的腔壁上的螺纹组件经常拆卸，从而有效延长反应腔室和光谱仪的检测窗的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN202332808U | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201120466509.7 | 申请日期 | 2011.11.21 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陆飞;刘志攀;李文;林东榕 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，其特征在于，包括直角弯管、转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，所述直角弯管的另一端与所述光谱仪的检测窗密封连接，所述45度反射镜设置于所述直角弯管内的转弯处。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号 | ||