发明名称 一种金属氧化物半导体场效应晶体管
摘要 本实用新型的实施例公开了一种金属氧化物半导体场效应晶体管MOSFET,包括:源极区;栅极区;漏极区;以及具有第一掺杂类型的体区,该体区包括阶梯形掺杂区,其中,阶梯形掺杂区的掺杂浓度高于体区上表面的掺杂浓度,该阶梯形掺杂区包括:第一掺杂区,位于栅极区下方;第二掺杂区,位于源极区和漏极区下方;其中,第一掺杂区比第二掺杂区的深度浅,更靠近体区的上表面。
申请公布号 CN202332858U 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201120453914.5 申请日期 2011.11.16
申请人 成都芯源系统有限公司 发明人 唐纳德·迪斯尼
分类号 H01L29/36(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 主分类号 H01L29/36(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 金属氧化物半导体场效应晶体管,其特征在于,所述金属氧化物半导体场效应晶体管包括:源极区;栅极区;漏极区;以及具有第一掺杂类型的体区,该体区包括阶梯形掺杂区,其中阶梯形掺杂区的掺杂浓度高于体区上表面的掺杂浓度,该阶梯形掺杂区包括:第一掺杂区,位于栅极区下方;第二掺杂区,位于源极区和漏极区下方;其中,第一掺杂区比第二掺杂区的深度浅,更靠近体区的上表面。
地址 611731 四川省成都市高新西区科新路8号