发明名称 |
一种金属氧化物半导体场效应晶体管 |
摘要 |
本实用新型的实施例公开了一种金属氧化物半导体场效应晶体管MOSFET,包括:源极区;栅极区;漏极区;以及具有第一掺杂类型的体区,该体区包括阶梯形掺杂区,其中,阶梯形掺杂区的掺杂浓度高于体区上表面的掺杂浓度,该阶梯形掺杂区包括:第一掺杂区,位于栅极区下方;第二掺杂区,位于源极区和漏极区下方;其中,第一掺杂区比第二掺杂区的深度浅,更靠近体区的上表面。 |
申请公布号 |
CN202332858U |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201120453914.5 |
申请日期 |
2011.11.16 |
申请人 |
成都芯源系统有限公司 |
发明人 |
唐纳德·迪斯尼 |
分类号 |
H01L29/36(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/36(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
金属氧化物半导体场效应晶体管,其特征在于,所述金属氧化物半导体场效应晶体管包括:源极区;栅极区;漏极区;以及具有第一掺杂类型的体区,该体区包括阶梯形掺杂区,其中阶梯形掺杂区的掺杂浓度高于体区上表面的掺杂浓度,该阶梯形掺杂区包括:第一掺杂区,位于栅极区下方;第二掺杂区,位于源极区和漏极区下方;其中,第一掺杂区比第二掺杂区的深度浅,更靠近体区的上表面。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新西区科新路8号 |