一种利用椭球面反射镜测量光栅衍射效率的方法及系统

摘要

本发明涉及一种利用椭球面反射镜测量光栅衍射效率的方法及系统，将椭球面反射镜引入到测量系统。椭球面反射镜的特点是将从一个焦点发出的所有光都引导到第二焦点上。照明光波与光栅的交点在椭球面反射镜的第一焦点，探测器的探头固定在椭球面反射镜的第二焦点。这样照明光波以任意角度入射到光栅上的光都可以被探测器探头接收。该系统可以在大角度范围内自动实时的接受衍射光能量。可以对衍射光能量进行全程自动探测，节省了系统空间。有效缩小该测量系统的体积和减轻其重量，同时实现了衍射效率的实时定点测量。此外，只需整体调整椭球面反射镜、光栅入射点及探测器探头位置，即可适用于不同探测角度范围需求，具有很高的通用性。

主权项

一种利用椭球面反射镜测量光栅衍射效率的方法，其特征在于步骤如下：步骤1：将激光器发出的光按能量1∶1的比例分为第一光束和第二光束；步骤2：将其中第一光束进行准直为直径小于1mm的平行光束，并以入射角照射到被测光栅上，调整入射角的入射点位于椭球面反射镜的第一焦点处；光束经被测光栅衍射后再经过椭球面反射镜反射到达椭球面反射镜的第二焦点处，测量椭球面反射镜的第二焦点处的光强数值；步骤3：用测量得到的第二焦点处的光强数值除以步骤1分束后的第二光束光强的两倍，得到被测光栅的衍射效率。