| 发明名称 | 加热控制方法、装置和系统，加热腔及等离子体设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种加热腔的加热控制方法和装置，加热腔及等离子体设备。其中，加热控制方法包括：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并以所述初始加热温度启动对所述加热腔的加热。本发明实施例可在加热腔启动时首先判断加热腔是否处于冷却状态，且一旦判断加热腔处于冷却状态则降低设定温度，从而减小启动电流，避免对设备造成损害。 | ||
| 申请公布号 | CN102560441A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201010604798.2 | 申请日期 | 2010.12.23 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 付金生 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 张大威 |
| 主权项 | 一种加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并控制加热装置以所述初始加热温度对所述加热腔进行加热。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||