一种工艺腔传输控制系统

摘要

本发明涉及一种工艺腔传输控制系统，具体地讲是涉及一种低压化学气相沉积反应工艺腔中单电机同步传输控制系统。该系统包括由伺服电机组件驱动的、带动工艺腔一侧的传输滚轮转动的主动装置和与主动装置联动的伸缩滑台，伺服电机组件只有一套且安装在工艺腔的一侧，该系统还包括位于工艺腔另一侧的、带动该侧传输滚轮转动的、由伺服电机组件驱动的从动装置。该系统结构相对简单，克服了双电机同步控制系统易出现失同步现象的缺点，具有很好的同步精度和稳定性，并且可调性较好，传输结构安全、可靠、高效，降低了设备成本以及生产成本，且易于维护。

主权项

一种工艺腔传输控制系统，包括由伺服电机组件驱动的、带动工艺腔一侧的传输滚轮转动的主动装置和与主动装置联动的伸缩滑台，其特征在于伺服电机组件只有一套且安装在工艺腔的一侧，该系统还包括位于工艺腔另一侧的、带动该侧传输滚轮转动的、由伺服电机组件驱动的从动装置。