发明名称 感光性树脂组合物
摘要 本发明提供感光性树脂组合物,其是含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物,根据本发明的感光性树脂组合物,可以得到机械特性优良的图案。(A)碱可溶性树脂(B1)具有碳数2~4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物(B2)与(B1)不同的聚合性化合物(C)聚合引发剂(D)溶剂。
申请公布号 CN102566271A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201110402881.6 申请日期 2011.12.07
申请人 住友化学株式会社 发明人 井上胜治
分类号 G03F7/027(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I 主分类号 G03F7/027(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 蒋亭
主权项 一种含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物,其中,(A)为碱可溶性树脂,(B1)为具有碳数2~4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物,(B2)为与(B1)不同的聚合性化合物,(C)为聚合引发剂,(D)为溶剂。
地址 日本国东京都