发明名称 |
感光性树脂组合物 |
摘要 |
本发明提供感光性树脂组合物,其是含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物,根据本发明的感光性树脂组合物,可以得到机械特性优良的图案。(A)碱可溶性树脂(B1)具有碳数2~4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物(B2)与(B1)不同的聚合性化合物(C)聚合引发剂(D)溶剂。 |
申请公布号 |
CN102566271A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201110402881.6 |
申请日期 |
2011.12.07 |
申请人 |
住友化学株式会社 |
发明人 |
井上胜治 |
分类号 |
G03F7/027(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/027(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物,其中,(A)为碱可溶性树脂,(B1)为具有碳数2~4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物,(B2)为与(B1)不同的聚合性化合物,(C)为聚合引发剂,(D)为溶剂。 |
地址 |
日本国东京都 |