发明名称 |
工件台安全保护装置 |
摘要 |
本发明针对工件台在移入移出整机进行维修维护的过程中存在的安全隐患,设计工件台安全保护装置,将该工件台安全保护装置安装在工件台靠近气垫和空气弹簧的部位。这种工件台安全保护装置,包括支座,支座固设于所述工件台的下方,支座内设有垂向的滑槽,滑槽内设有滑块,滑块的上端通过第一预紧弹簧和工件台连接,以保证所述滑块的下端始终和所述工作平台滚动接触,所述支座上还设有一用于使所述滑块瞬间停止滑动的锁紧装置。本发明利用工件台下坠瞬间产生的巨大加速度,应用力矩平衡原理,通过机构运动使工件台迅速受到工件台安全装置的机械锁紧作用,使工件台在产生加速度之后的很短时间内立即停止下降,从而有效保护工件台上精密部件的安全。 |
申请公布号 |
CN102563330A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201010618371.8 |
申请日期 |
2010.12.30 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
李进春;齐芊枫 |
分类号 |
F16P7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
F16P7/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种工件台安全保护装置,设于工件台和工作平台之间,其特征在于,包括支座,所述支座固设于所述工件台的下方,所述支座内设有垂向的滑槽,所述滑槽内设有滑块,所述滑块的上端通过第一预紧弹簧和工件台连接,以保证所述滑块的下端始终和所述工作平台滚动接触,所述支座上还设有一用于使所述滑块瞬间停止滑动的锁紧装置。 |
地址 |
201013 上海市浦东新区张东路1525号 |