发明名称 起始层芯板的方法
摘要 本发明提供一种起始层芯板的制作方法,其中,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。本发明提供的起始层芯板的制作方法,通过选用表面抛光的不锈钢材质的载板,避免材质为铜的载板表面的粗糙度高而影响线路层的品质,有利于减少种子层的厚度,降低起始层芯板的制造成本,再通过超声波分离技术来分离载板和起始层芯板,避免通过蚀刻来分离载板和起始层芯板时造成对线路层的侧蚀,从而提高起始层芯板的成品率。
申请公布号 CN102573335A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201010620353.3 申请日期 2010.12.23
申请人 北大方正集团有限公司 发明人 苏新虹;朱兴华
分类号 H05K3/46(2006.01)I 主分类号 H05K3/46(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 陈源;罗建民
主权项 一种起始层芯板的制作方法,其特征在于,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。
地址 100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦5层