发明名称 |
起始层芯板的方法 |
摘要 |
本发明提供一种起始层芯板的制作方法,其中,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。本发明提供的起始层芯板的制作方法,通过选用表面抛光的不锈钢材质的载板,避免材质为铜的载板表面的粗糙度高而影响线路层的品质,有利于减少种子层的厚度,降低起始层芯板的制造成本,再通过超声波分离技术来分离载板和起始层芯板,避免通过蚀刻来分离载板和起始层芯板时造成对线路层的侧蚀,从而提高起始层芯板的成品率。 |
申请公布号 |
CN102573335A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201010620353.3 |
申请日期 |
2010.12.23 |
申请人 |
北大方正集团有限公司 |
发明人 |
苏新虹;朱兴华 |
分类号 |
H05K3/46(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
陈源;罗建民 |
主权项 |
一种起始层芯板的制作方法,其特征在于,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦5层 |