发明名称 硬质薄膜、具备硬质薄膜的产品及该产品的制作方法
摘要 本发明公开一种硬质薄膜、具备硬质薄膜的产品、及产品的制作方法,该硬质薄膜由氮钛铝层与氮化硼层交替沉积而成。产品包括一基体及形成在基体上的所述硬质薄膜。产品的制作方法,包括以下步骤:提供一基体;在基体的表面形成硬质薄膜,该硬质薄膜包括若干氮钛铝层与若干氮化硼层,该若干氮钛铝层与若干氮化硼层交替沉积排布;对所述硬质薄膜进行氮化处理。该具有氮钛铝层与氮化硼层形成的硬质薄膜的产品,产品的硬度与耐磨性均极大的提高,且制备方法简单。
申请公布号 CN102560346A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201010606757.7 申请日期 2010.12.24
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种硬质薄膜,其特征在于:该硬质薄膜包括若干氮钛铝层与若干氮化硼层,该若干氮钛铝层与若干氮化硼层交替沉积排布。
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