发明名称 Method for forming strained semiconductor channel and semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2487113(A) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 GB20110021729 申请日期 2010.09.19
申请人 INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OFSCIENCES 发明人 HAIZHOU YIN;HUILONG ZHU;ZHIJIONG LUO
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L29/66 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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