发明名称 Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质
摘要 一种Bi-Ge-O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。本发明涉及Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质,特别地提供在溅射时不产生靶的破裂,粉粒的产生少,可以稳定地制作高品质的薄膜,可以得到不产生记录位的错误的光记录介质的Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及该靶的制造方法以及光记录介质。
申请公布号 CN102575339A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201080045590.X 申请日期 2010.10.04
申请人 吉坤日矿日石金属株式会社 发明人 奈良淳史
分类号 C23C14/34(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I;G11B7/26(2006.01)I 主分类号 C23C14/34(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王海川;穆德骏
主权项 一种Bi‑Ge‑O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。
地址 日本东京