发明名称 |
Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质 |
摘要 |
一种Bi-Ge-O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。本发明涉及Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及其制造方法以及光记录介质,特别地提供在溅射时不产生靶的破裂,粉粒的产生少,可以稳定地制作高品质的薄膜,可以得到不产生记录位的错误的光记录介质的Bi-Ge-O型烧结体溅射靶及该靶的制造方法以及光记录介质。 |
申请公布号 |
CN102575339A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201080045590.X |
申请日期 |
2010.10.04 |
申请人 |
吉坤日矿日石金属株式会社 |
发明人 |
奈良淳史 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I;G11B7/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种Bi‑Ge‑O型烧结体溅射靶,含有铋(Bi)、锗(Ge)和氧(O),其特征在于,Bi与Ge的原子数比为0.57<(Bi/(Bi+Ge))<0.92,并且含有Bi12GeO20、Bi4Ge3O12和GeO2三相作为结晶相。 |
地址 |
日本东京 |