| 发明名称 | 钴靶材的加工方法 | ||
| 摘要 | 一种钴靶材的加工方法，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。本发明提供的钴靶材的加工方法，使得经过切削后的钴靶材表面的粗糙度进一步的降低，获得了符合溅射需求的钴靶材。 | ||
| 申请公布号 | CN102554569A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201110456456.5 | 申请日期 | 2011.12.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈玉蓉 |
| 分类号 | B23P15/00(2006.01)I;B24B19/00(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I | 主分类号 | B23P15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钴靶材的加工方法，其特征在于，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||