一种关键尺寸扫描电子显微镜的样品结构和测量方法

摘要

本发明提供了一种关键尺寸扫描电子显微镜的样品结构和测量方法，该方法在样品上添加一个位置固定的辅助图案，在测量该样品的关键尺寸时，通过抓取该辅助图案为模板，建立辅助图案与样品上待测图案的相对位置坐标的关系和设置CD recipe，使测量待测图案时，CDSEM能够在样品上查找与辅助图案，然后以辅助图案的坐标为基准，根据辅助图案与样品上待测图案的相对位置坐标的关系，实现待测图案的准确定位和CD recipe的重复可用，提高CDSEM测量的效率。

主权项

一种关键尺寸扫描电子显微镜的样品结构，其特征在于，该样品结构包括：辅助图案和待测图案，且所述辅助图案与待测图案的相对位置坐标固定不变。