| 发明名称 | 一种投影光学系统 | ||
| 摘要 | 一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。本发明的投影光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102566011A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201210027757.0 | 申请日期 | 2012.02.08 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 白瑜;邢廷文;吕保斌;范真节;邓超;张海波 |
| 分类号 | G02B13/14(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B27/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B13/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 李新华;成金玉 |
| 主权项 | 一种投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，其特征在于，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。 | ||
| 地址 | 610209 四川省成都市双流350信箱 | ||