构图装置

摘要

本发明提供一种能够恰当地进行构图而部分剥离或去除形成在基板上的膜的构图装置。部分剥离或去除形成在基板上的膜的构图装置具备固定器摆动部，该固定器摆动部将固定着构图工具的固定器保持为能够围绕包含加工方向和铅垂方向的平面内的第1轴旋转，通过构图工具的刀尖触碰膜之后使固定器摆动部相对于加工方向相对移动而进行构图时，构图工具通过与固定器摆动部围绕第1轴旋转的组合，可以仿照膜在刀刃方向上的倾斜度而摆动。

主权项

一种构图装置，进行构图而部分剥离或去除形成在基板上的膜，特征在于包括：保持单元，保持形成着膜的基板；构图工具，在前端部具有在刀刃方向上延伸的刀尖；固定器，将所述构图工具固定；固定器摆动部，将所述固定器保持为能够围绕包含加工方向和铅垂方向的平面内的第1轴旋转；驱动部，使所述固定器摆动部相对于所述保持单元相对移动；及升降部，使所述固定器摆动部升降；且所述升降部使所述固定器摆动部向接近所述保持单元的方向移动而使所述构图工具的所述刀尖与所述膜触碰后，所述驱动部使所述固定器摆动部相对于所述加工方向相对移动，由此在所述构图工具沿着所述加工方向进行所述膜的构图时，所述构图工具将在水平面内所述刀刃方向正交于所述加工方向时的所述刀尖的姿势设为基准姿势，并且通过所述固定器围绕所述第1轴的旋转，能够仿照所述膜在所述刀刃方向上的倾斜度摆动。