| 发明名称 | 一种光刻照明光学系统 | ||
| 摘要 | 一种用于光刻的照明光学系统，包括光源，积分棒，中继透镜以及掩模，其特征在于还包括一个均匀性增强元件。本发明通过在积分棒入射端加入均匀性增强元件，在积分棒长度较短的情况下大幅度提高照明均匀性。同时可以降低成本，减小机械尺寸，降低装配难度。 | ||
| 申请公布号 | CN102566294A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201010619059.0 | 申请日期 | 2010.12.28 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 胡斌 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种用于光刻的照明光学系统，包括光源，积分棒，以及中继透镜，其特征在于：还包括一个均匀性增强元件。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||