| 发明名称 | 用于制备薄膜图案的装置和方法以及用其制备液晶显示器件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于制备薄膜图案的装置，在其中可以延长托架寿命并且由此可以实现费用节省。该装置包括围绕由聚二甲基硅氧烷构成的托架的印刷辊；布置在印刷辊周围的用于注入抗蚀剂溶液的注射喷嘴；和包括凹槽/凸起图案的印刷板，凹槽具有与特定薄膜相同的形状，凸起布置在没有凹槽的区域中，其中抗蚀剂溶液包括基础聚合物、载体溶剂、增粘剂和表面活性剂。本发明还公开了一种用于以该装置制备薄膜图案的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101295132B | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN200710308356.1 | 申请日期 | 2007.12.29 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 金珍郁;赵圣弼 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 一种用于制备薄膜图案的装置，包括：围绕由聚二甲基硅氧烷构成的托架的印刷辊；布置在印刷辊周围的用于注入抗蚀剂溶液的注射喷嘴；包括凹槽/凸起图案的印刷板，凹槽具有与给定薄膜相同的形状，凸起布置在没有凹槽的区域中，其中，所述抗蚀剂溶液包括基础聚合物、载体溶剂、增粘剂和表面活性剂，以及其中，所述增粘剂包括具有多个羟基基团的聚羟基苯乙烯，所述增粘剂和所述基础聚合物仅通过氢键彼此结合，其中所述抗蚀剂溶液由3到30wt％的基础聚合物、50到90vol％的载体溶剂、10到50vol％的增粘剂、0.01到3wt％的表面活性剂和0.01到1wt％的染料组成；以及其中所述载体溶剂包括甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇及它们的组合。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||