一种用于湿制程设备的盖板组件

摘要

本实用新型公开了一种用于湿制程设备的盖板组件，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔，所述抽风盒上方所对的所述盖板上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头，所述盖板上设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔的回风板。本实用新型能将槽体内的酸碱性气体抽出，防止酸碱性气体外泄污染环境，以及防止酸碱性气体对槽体内的反应产生影响，同时又能向槽体内补入气体。

主权项

一种用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔，所述抽风盒上方所对的所述盖板上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头，所述盖板上设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔的回风板。