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发明名称
摘要
申请公布号
JP4974523(B2)
申请公布日期
2012.07.11
申请号
JP20050374969
申请日期
2005.12.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;H01L21/02
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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