具有氧化涂层的抗腐蚀、含钇金属的等离子体室部件

摘要

本发明描述一种可抵抗由化学活性等离子体所导致的侵蚀或腐蚀的物体以及制造该物体的方法。该物体包括金属或金属合金衬底，该衬底的表面上具有涂层，且该涂层为金属或金属合金的氧化物。该氧化物涂层的结构在本质上为柱状。构成氧化物的结晶的晶粒尺寸在氧化物涂层的暴露表面处比氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处大，其中氧化物涂层在氧化物涂层与金属或金属合金衬底之间的界面处呈压迫状态。一般来说，金属选自由钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌、或其组合所组成的群组。

主权项

一种可抵抗由化学活性等离子体所导致的侵蚀或腐蚀的物体，所述物体包括：金属或金属合金衬底，其包括选自由钇、钕、钐、铽、镝、铒、镱、钪、铪、铌及其组合所组成的群组的金属，以及选自由氧化锆、氧化铪、氧化钪、氧化铌、氧化钐、氧化镱、氧化铒、氧化铈、氧化钕、氧化铽、氧化镝及其组合所组成的群组的至少一种掺杂剂；以及位于所述衬底的表面上的氧化物涂层，所述氧化物涂层是包括所述至少一种掺杂剂的所述金属或金属合金的热氧化物，其中所述氧化物涂层的结构在本质上为柱状，其中在所述氧化物涂层中的结晶的晶粒尺寸在所述氧化物涂层的暴露表面处比在所述氧化物涂层与所述金属或金属合金衬底之间的界面处大，并且，其中所述氧化物涂层在所述氧化物涂层与所述金属或金属合金衬底之间的所述界面处呈压迫状态。