发明名称
摘要
申请公布号 JP4975569(B2) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 JP20070235733 申请日期 2007.09.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利