| 摘要 |
1. Источник быстрых нейтральных частиц, содержащий источник ионов с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов и нейтрализатор, выполненный в виде внешних и внутренних коаксиальных поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал нейтрализации определенной длины, сопряженный с замкнутой выходной щелью источника, отличающийся тем, что на нейтрализатор установлены электроды сепаратора, выполненные в виде поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал сепарации определенной длины и ширины, сопряженный с замкнутой выходной щелью нейтрализатора, что обеспечивает полную нейтрализацию выходного потока частиц за счет изменения отношения длины щелевого канала сепарации к ширине его замкнутой выходной щели и регулирования напряжения, подаваемого на электроды сепаратора для отклонения ионов из пучка быстрых частиц. ! 2. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит несколько щелевых источников быстрых нейтральных частиц, снабженных электродами сепаратора, что улучшает равномерность выходного нейтрального пучка за счет перекрывания угловых диаграмм отдельных пучков. ! 3. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит наклонно направленный канал нейтрализации и соосные с ним электроды сепаратора, что обеспечивает получение сфокусированного нейтрального пучка для повышения производительности процессов обработки объектов. ! 4. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит канал нейтрализации с отрицательным наклоном и соосные с ним электроды сепаратора, что обеспечивает получение расходящегося нейтрального пучка. ! 5. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит наклонный под углом (0-15)° |
