| 摘要 |
1. Микромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, первую и вторую идентичные инерционные массы, каждая из которых выполнена в виде прямоугольной пластины из кремния, расположена с зазором относительно платы и связана с ней упругими перемычками, образующими упругий подвес, допускающий колебательные движения каждой из инерционных масс вдоль первой и вдоль второй осей, электростатический вибропривод, блок электроники, датчик выходного сигнала, содержащий подвижные и неподвижные гребенчатые элементы, электростатические емкостные измерители перемещений инерционных масс, содержащие подвижные и неподвижные гребенчатые элементы, электростатический привод настройки и анкеры, отличающийся тем, что введена центральная измерительная прямоугольная рамка, размещенная во внутреннем упругом подвесе, допускающем колебательные движения рамки вдоль второй оси и содержащем упругие перемычки и анкер, расположенный в центре всего устройства. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на боковых параллельных второй оси сторонах центральной измерительной прямоугольной рамки размещены подвижные гребенчатые элементы датчика выходного сигнала и электростатического привода настройки. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в каждой из пластин инерционных масс выполнены две прямоугольные прорези, расположенные симметрично относительно первой оси, в которых размещены электростатические емкостные измерители перемещений инерционных масс вдоль первой оси, подвижные гребенчатые элементы которых расположены на инерционных массах, а неподвижные гребенчатые эл� |
