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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
KR101163816(B1)
申请公布日期
2012.07.09
申请号
KR20087006948
申请日期
2006.09.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;H01L21/205
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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