MAGNETICALLY DRIVABLE MICROMIRROR

摘要

Die Erfindung betrifft einen magnetisch antreibbaren Mikrospiegel, mit einem äusseren Rahmen (205), einem Spulenkörper (202) und Torsionsfedern (203), welche in einer ersten Ebene (200) angeordnet sind, wobei die Torsionsfedern (203) eine Drehachse aufweisen, wobei der Spulenkörper (202) mittels der Torsionsfedern (203) drehbeweglich um die Drehachse mit dem äusseren Rahmen (205) verbunden ist, mit einem Spiegelelement (305) welches in einer zweiten Ebene parallel zur ersten Ebene angeordnet ist, wobei das Spiegelelement (305) mittels einer Zwischenschicht (250) mit dem Spulenkörper (202) verbunden ist. Die Erfindung betrifft auch einen 2D Scanner mit einem ersten magnetisch antreibbaren Mikrospiegel und einem zweiten antreibbaren Spiegel und ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegels.