Nahinfrarot absorbierende Dünnschichtzusammensetzungen

摘要

Härtbare flüssige Formulierung, welche das Folgende umfasst: (i) einen oder mehrere Nahinfrarot absorbierende Polymethinfarbstoffe; (ii) ein oder mehrere vernetzbare Polymere und (iii) ein oder mehrere Gießlösungsmittel. Die Erfindung betrifft auch Nahinfrarot absorbierende feste Dünnschichten, die aus vernetzten Formen der härtbaren flüssigen Formulierung zusammengesetzt sind. Die Erfindung betrifft ferner ein mikroelektronisches Substrat, welches eine Beschichtung der Nahinfrarot absorbierenden festen Dünnschicht enthält, sowie ein Verfahren zum Strukturieren einer Photoresistschicht, die auf ein mikroelektronisches Substrat geschichtet wird, für den Fall, dass die Nahinfrarot absorbierende Dünnschicht zwischen dem mikroelektronischen Substrat und einer Photoresist-Dünnschicht angeordnet ist.