| 摘要 |
<p>Zum Prüfen einer Platine wird zuerst ein Messbereich auf einer Platine eingestellt, und Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs werden erfasst. Dann wird durch eine Blockeinheit eine Mehrzahl von Merkmalsblöcken erstellt, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen, und durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, wird ein vermischter Block erstellt. Danach wird durch Vergleichen von Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen, ein Verzerrungsgrad erfasst, und der Verzerrungsgrad wird kompensiert, um einen Prüfbereich im Zielmessbereich einzustellen. Somit kann ein Prüfbereich, in dem die Verzerrung kompensiert wird, korrekt eingestellt werden.</p> |
