COATING APPARATUS HAVING A HIPIMS POWER SOURCE

摘要

Eine Beschichtungsvorrichtung mit einer Vakuumkammer, mehreren darin angeordneten Kathoden sowie eine HIPIMS-Leistungsquelle, zeichnet sich dadurch aus, dass zusätzlich zu mindestens einer Beschichtungskathode, die mit der HIPIMS-Leistungsquelle betreibbar ist, mehrere flächenmäßig im Vergleich zu der Beschichtungskathode kleinere Ätzkathoden vorgesehen sind, die in einer vorgegebenen oder vorgebbaren Reihenfolge an der HIPIMS-Leistungsquelle anschließbar sind.