具有高反射率加热区段的快速热焙烧红外线传送带式热处理炉

摘要

高反射率元件IR灯模块和用于太阳能电池加工的烧结多区IR炉的方法，包括通过超高反射率陶瓷材料的平的或配置板的背部支持布置的灯。可选择地，高反射率板可配置为有波纹或槽来分隔加工区中的每个灯与相邻的灯。炉冷却空气被排出和为了能量守恒而上游循环。灯间隔可变化和每个灯的功率独立控制来提供每一加热区的温度分布图的无限控制。高反射率元件可由密度陶瓷纤维板构成，然后覆盖高反射率陶瓷组分，和烤或焙烧以形成最终元件。

主权项

一种用于具有至少一个加工区的热加工炉的IR灯加热模块，在操作组合中包括：a)高反射率氧化铝陶瓷元件，具有配置为平的、波纹或槽表面的至少一面；b)IR灯阵列，间隔自所述高反射率元件配置的面，其中所述面配置有波纹或通道，所述阵列的每一个所述灯的中心线被中心定位在且平行于所述波纹或通道的中心线；以及c)装置，用于维持所述灯与所述高反射率元件的间隔关系以有效地将来自所述灯的IR光导引进入所述工艺区。