表面形状测定装置

摘要

本发明提供一种例如在FPD用玻璃基板等中，以非接触、非破坏方式高精度并且高速测定表面形状，检测翘曲等的缺陷的表面形状测定装置。它具备：用于放置被测定构件(1)的载物台(2)；用于以非接触方式测定被测定构件(1)的表面变位的多个空气扫描器(3)；用于将多个空气扫描器(3)移动到规定的测定位置的驱动控制部(5)；与各多个空气扫描器(3)对应地用于对在测定位置上的测定数据分别进行运算处理的第1数据处理部(7)；用于对在各第1数据处理部中运算处理的测定数据进行合成处理的第2数据处理部(8)。

主权项

一种表面形状测定装置，其特征在于，包括：用于放置被测定构件的载物台；在被测定构件的表面的上部以规定的间隔设置，并使用了以非接触方式测定上述被测定构件的表面变位的非接触气动伺服的多个空气扫描器；用于使上述多个空气扫描器分别在X轴方向及Y轴方向移动的驱动控制部；与各上述多个空气扫描器对应，用于对各测定点的测定数据分别进行运算处理而生成所指定的测定点的表面变位数据的第1数据处理部；用于对在各上述第1数据处理部中进行了上述运算处理的各上述多个空气扫描器的上述各测定点的表面变位数据与位置数据进行合成处理而生成上述被测定构件的表面形状数据的第2数据处理部。