发明名称 一种晶片优化调度的方法和装置
摘要 本发明提供了一种晶片优化调度的方法,包括:获取系统所需运行的晶片数量以及各个晶片的工艺顺序;依据晶片数量及各个晶片的工艺顺序,模拟计算得到多条晶片运行路径;所述路径为各个晶片在时间上的移动序列集合;根据系统的工艺时间效率评价上述多条晶片运行路径,将系统工艺时间效率最大的路径作为最优路径保存至调度队列;依据调度队列中的路径对各个晶片进行调度。本发明通过构造系统工艺时间效率函数,对系统所有的可能调度序列进行n步模拟,并通过进一步的分析可以获得输出最优的路径。因此,本发明方案可以提高系统的产能,降低生产成本,从而为生产企业带来更高的利益。
申请公布号 CN101459098B 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN200710179612.1 申请日期 2007.12.14
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 马宝林;王宝全;崔琳
分类号 G06F19/00(2011.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 G06F19/00(2011.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 苏培华;逯长明
主权项 一种半导体设备中晶片优化调度的方法,其特征在于,包括:获取系统所需运行的晶片数量以及各个晶片的工艺顺序;依据晶片数量及各个晶片的工艺顺序,模拟计算得到多条晶片运行路径;所述路径为各个晶片在时间上的移动序列集合;根据系统的工艺时间效率评价上述多条晶片运行路径,将系统工艺时间效率最大的路径作为最优路径保存至调度队列;依据调度队列中的路径对各个晶片进行调度,以提高系统的产能和效率。
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