发明名称 一种表面等离子共振整流天线及其制备方法
摘要 一种表面等离子共振整流天线及其制备方法。所述的表面等离子共振整流天线为三层结构,下层为金属Ti,在金属Ti的一个表面氧化生成TiO2纳米管阵列层。在所述TiO2纳米管阵列层的表面通过光沉积有Cu纳米颗粒金属层。所述的Cu纳米颗粒金属层的微观表面形貌为纳米颗粒。本发明使用光沉积代替超高真空电子束蒸发技术,使用廉价金属铜Cu代替贵金属Au制备了Ti/TiO2NT/Cu结构的整流天线,解决了目前金属层沉积技术成本、设备投入成本及贵金属价格成本高,不能用于大规模工业化生产难题,有利于太阳能技术的绿色低成本发展。
申请公布号 CN102544182A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201210002179.5 申请日期 2012.01.05
申请人 西北工业大学 发明人 陈福义;刘建
分类号 H01L31/07(2012.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C25D11/26(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I 主分类号 H01L31/07(2012.01)I
代理机构 西北工业大学专利中心 61204 代理人 慕安荣
主权项 一种表面等离子共振整流天线,所述的表面等离子共振整流天线为三层结构,下层为金属Ti,在金属Ti的一个表面氧化生成TiO2纳米管阵列层;其特征在于,在所述TiO2纳米管阵列层的表面沉积有Cu纳米颗粒金属层;所述的Cu纳米颗粒金属层的微观表面形貌为纳米颗粒,其颗粒大小为50~80nm,无特定形态,附着在TiO2纳米管基体表面的管壁上,少量沉积物进入到管内。
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