异物检查装置及异物检查方法

摘要

本发明提供一种异物检查装置及异物检查方法，针对构成检查对象的基板的数字图像的每一像素设定包含该像素的小区域的像素群。继而，对比各像素的亮度值与包含该像素的像素群的亮度值。通过该对比，针对所述每一像素而运算表示各像素相对于该像素群的亮度值的偏差程度的量作为亮度确认值。然后，基于该亮度确认值而判定是否存在异物。基板的亮度的偏差程度较小。相对于此，因异物为自然形成的非固定形状的物体，所以其亮度整体上具有随辉度层次偏差程度较高的特性。由此，通过运算亮度确认值而可利用产品与异物的亮度的偏差程度的不同点识别异物。

主权项

一种异物检查装置，检查实施了包含印刷处理在内的表面处理的基板上是否有异物，其特征在于包括：摄像装置，拍摄所述基板并输出模拟信号；AD转换装置，将输出的模拟信号转换为数字图像；像素群设定装置，针对转换而得的数字图像的每一像素设定包含该像素的小区域的像素群；亮度确认值运算装置，针对所述每一像素运算表示所述像素群中的各像素的亮度值的偏差程度的量作为该像素的亮度确认值；以及判定装置，基于所述亮度确认值判定是否存在异物。