光源单元的排风系统及光刻机

摘要

本发明公开了一种光源单元的排风系统，包括排风管，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，所述光源单元的排风系统还包括一鼓风机，所述鼓风机设置于所述排风管上。本发明还公开了一种光刻机，包括光源单元、光路传输系统、曝光系统与光源单元的排风系统，所述光源单元发出的光经光路传输系统传递到曝光系统，光源单元的排风系统包括排风管和鼓风机，排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，鼓风机设置于排风管上。通过在排风管上增设鼓风机，可以实现对光源单元的稳定、有效排风，避免光源单元由于热量不能及时排出而出现非正常灭灯，从而保护光源单元，同时可避免光刻机因光源单元非正常灭灯出现停机现象。

主权项

一种光源单元的排风系统，包括排风管，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，其特征在于，所述光源单元的排风系统还包括一鼓风机，所述鼓风机设置于所述排风管上。