一种PLC光器件的制造方法

摘要

本发明属于平面光分路器(Planar Lightwave Circuit Splitter，PLC splitter)技术领域，具体涉及一种光波导的制造方法，包括：在硅片上生长一层二氧化硅；淀积光刻胶；光刻形成图形；在光刻胶之间的凹槽内形成高折射率的光波导芯层；将光刻胶固化；形成低折射率膜上包层。本发明所提出的光波导的制造方法工艺过程简单，技术难度低，原材料以及生产设备要求低，降低了生产成本，易于实现产业化规模生产。

主权项

一种光波导器件的制造方法，包括：提供一个硅衬底；在所述硅衬底上生长一层二氧化硅；淀积光刻胶；光刻形成图形；形成高折射率层；回刻部分所述高折射率层，将光刻胶上的所述高折射率层去除而保留在光刻胶之间的凹槽内的所述高折射率层材料，以形成高折射率芯层；将光刻胶固化；形成低折射率膜上包层。