| 发明名称 | 利用KELVIN探针分析检查静电卡盘的方法 | ||
| 摘要 | 提供一种检查静电卡盘(ESC)的方法。该ESC具有用于半导体晶片的介电支撑表面。该介电支撑表面利用Kelvin探针扫描以获得表面电势映射。该表面电势映射对比基准Kelvin探针表面电势映射以确定该ESC是否通过检查。 | ||
| 申请公布号 | CN101971316B | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN200980107037.1 | 申请日期 | 2009.02.26 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 阿芒·阿沃扬;石洪;约翰·多尔蒂 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种检查静电卡盘的方法，该静电卡盘具有用于半导体晶片的介电支撑表面，该方法包括：利用Kelvin探针扫描该介电支撑表面以获得三维立体的表面电势映射，该扫描通过使该Kelvin探针在平行于该介电支撑表面的平面形成网格以及在该介电支撑表面的整个区域的多个点上映射该表面电势来执行；对比该表面电势映射与基准Kelvin探针表面电势映射以确定该静电卡盘是否通过检查。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||