惯性力传感器

摘要

本发明提供一种惯性力传感器，其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器，在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部，从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。

主权项

一种惯性力传感器，其特征在于具备振荡器，所述振荡器由非压电材料构成，具有多个臂、以及连结所述臂的基部，所述臂的离开所述臂的棱部的平面部上的部位形成有微调部，其中：所述微调部在所述多个臂的每一个中以相同长度、相同宽度来形成，形成在以所述多个臂的每一个中的宽度的中心为基准，取得各个臂的质量平衡的位置、并且所述臂的平面部的宽度的5％至95％之间的部分上。