太阳能电池硅片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片清洗装置，包括清洗槽和干燥室，其特征是在清洗槽内设有超声波发生器，在干燥室上设有负压吸风口和热量循环回路，负压吸风口和热量循环回路之间连接有空气净化回收单元。在清洗槽和干燥室之间设有输送装置，在干燥室内设有加热器。在清洗槽上设有视窗口。本实用新型提供的太阳能电池硅片清洗装置，特别适合于采用溶剂型清洗剂对硅片进行清洗，由于溶剂具有极强的渗透性，对硅片表面的残留物也有溶解和强力的清洗作用，再在超声波的作用下，能迅速达到清洗目的，与现有技术相比，缩短了清洗时间，简化清洗设备及清洗工艺。提高设备产能；节约了清洗能耗，也提高了对硅片清洗的清洁度。

主权项

一种太阳能电池硅片清洗装置，包括清洗槽(1)和干燥室(2)，其特征是在清洗槽(1)内设有超声波发生器(3)，在干燥室(2)上设有负压吸风口(5)和热量循环回路(7)，负压吸风口(5)和热量循环回路(7)之间连接有空气净化回收单元(6)。