Nano-imprinting apparatus and method,申请号EP20080102544-传众专利搜索

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发明名称	Nano-imprinting apparatus and method
摘要
申请公布号	EP1972997(B1)	申请公布日期	2012.07.04
申请号	EP20080102544	申请日期	2008.03.12
申请人	OBDUCAT AB	发明人	HEIDARI, BABAK
分类号	G03F7/00;G03F7/24	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
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