| 发明名称 | 采用真空熔铸法制备铬靶的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种采用真空熔铸法制备铬靶的方法，依下述步骤进行：a.Cr块的挑选：将有氧化皮、被污染的Cr块挑出；b.熔炼：将合格的Cr块装入中频真空感应炉中，升温速率为10-18℃/min，熔炼温度为1800～2000℃；c.浇注：以0.6～0.8m/s的浇注速度快速浇铸到水冷Cu模中，进行快速冷却，制得Cr靶。本发明通过感应加热方法，在高温下将材料熔化，快速浇铸，并辅以快速冷却，实现快速形核并且抑制核长大，本方法制得的Cr靶，具有成分均匀、致密性高、晶粒细小、纯度高、工艺简单、成本低等优良的综合性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101824599B | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201010181628.8 | 申请日期 | 2010.05.24 |
| 申请人 | 陕西斯瑞工业有限责任公司 | 发明人 | 张红军;王玲玲;杨平 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 采用真空熔铸法制备铬靶的方法，其特征在于，包括下述步骤：a.Cr块的挑选：将有氧化皮、被污染的Cr块挑出；b.熔炼：将合格的Cr块装入中频真空感应炉中，升温速率为10‑18℃/min，熔炼温度为1800～2000℃，保温7‑15分钟；c.浇注：以0.6～0.8m/s的浇注速度快速浇铸到水冷Cu模中，进行快速冷却制得Cr靶。 | ||
| 地址 | 710075 陕西省西安市鱼斗路273号 | ||