大气压介质阻挡放电产生低温等离子体的射流装置

摘要

大气压介质阻挡放电产生低温等离子体射流装置涉及气体放电等离子体应用技术领域，使用惰性气体及空气作为工作气体，将放电区域产生的等离子体以射流形式吹出，可解决平行平板型介质阻挡放电区域狭小和等离子体宏观温度高所导致的应用范围有限问题。该装置结构为：空心管状连接头与空心介质管相连，绝缘介质覆盖的电极固定于介质管，环状电极紧贴于介质管的外壁，工作气体由流量计、止回阀经连接头进入介质管，等离子体被吹出形成等离子体射流。本发明具有等离子体宏观温度低、电子能量大、扩展范围广的优点，同时成本低廉、耗能小、可靠性高，可用于杀菌消毒、复杂形状材料表面改性、废气处理、臭氧合成以及放电光源等离子体物理化学领域。

主权项

一种大气压介质阻挡放电产生低温等离子体的射流装置，包括，气源(6)、流量计(7)、止回阀(8)、电极及电源，所述气源(6)、流量计(7)、止回阀(8)通过管路顺序连接，其特征在于：空心管状连接头(1)的一端通过管路与止回阀(8)连接，其另一端与空心介质管(2)一端气密封连接，介质管(2)的轴线位置设置有中心电极(3)，中心电极(3)的一端延伸出空心介质管(2)的外壁并连接电源(9)的一端，空心介质管(2)的外壁上间隔设置有与其外壁形状相吻合的两个外电极(5)，所述两个外电极(5)均连接电源(9)的另一端；设置在空心介质管(2)轴线位置的中心电极(3)上覆盖有绝缘介质(4)；所述绝缘介质(4)的材质为聚四氟乙烯、环氧树脂或石英玻璃。