用于储存测量数据于真空计结构上的方法及装置

摘要

一种用以借由组合离子化真空计与至少一其它的真空感测器来测量气体压力的方法及装置。耦接于真空计的非依电性记忆体含有依据工厂校准而定的各个个别感测器唯一的校准参数。该非依电性记忆体可含有用于一热敏真空感测器的校准参数，以补偿由该离子化真空计所产生的温度梯度。该等校准参数是当离子化真空计开启及关闭时所判断的校准数据的函数。该非依电性记忆体可储存该真空计的一视窗的测试数据，该非依电性记忆体更新于预定的时间间隔及回应于一诸如错误事件的事件，以协助调查真空计故障或失效的原因。

主权项

一种用以测量环境中的气体压力的装置，其特征在于其包含：一真空计；非依电性记忆体，其耦接于该真空计以供稍后的真空计的分析使用；以及一处理器，其回应于一错误事件而储存由该真空计所感测的非校准测量数据于该非依电性记忆体中，以在该真空计失效之后可作为分析使用。