用于向真空处理室添加容器或从真空处理室移除容器的锁定装置

摘要

本发明涉及一种用于向真空处理室添加容器或从真空处理室移除容器的锁定装置，其中，该锁定装置包括容器用承载板，所述承载板被紧固到转动输送部件并且通过设置在输送部件的直段部中的锁定通道被输送，以与所述通道一起实现密封效果。该承载板移动通过锁定通道中的抽气开口或者通气开口。以这种方式，能够形成分级压力段。该锁定装置能够被灵活地确定尺寸以及低成本地生产。

主权项

一种锁定装置(1)，其用于连续地向真空处理室(21)添加容器(13)和连续地从真空处理室(21)移除容器(13)，所述锁定装置具有：转动输送部件(3，5)，其包括直段部；承载板(11)，其被有间距地配置于所述输送部件以用于保持所述容器；锁定通道(15，17)，其至少部分地沿所述直段部延伸，所述容器由所述输送部件通过所述锁定通道输送；其中，所述承载板被实现为使得所述承载板与通道壁(27)一起实现密封效果，从而在所述锁定通道中能够产生压降。